美國API激光干涉儀xd laser上海
Automated Precision Inc.(API)xd™激光干涉儀。它是一個多維激光測量系統(tǒng)。它同時測量線性、角度、直線度和滾動誤差。它速度快,在大約80%的停機時間內(nèi)進行準確測量。例如,一臺1米體積機器的完整測量是在3到4小時內(nèi)完成的,而不是3天。這樣有助于提高生產(chǎn)效率。
這臺機器是*無線的。以太網(wǎng)連接有1、3、5和6自由度配置。6維xd激光干涉儀可同時測量單個裝置的所有軸誤差。該系統(tǒng)還可以對速度、加速度、平行度、方正度和平面度進行評估。所有這些特性使xd激光器不同于其他激光器。
它還有許多其他功能,如集成控制盒到激光頭,便于攜帶。實時氣象站補償。還有一個濕度傳感器。它有一個緊湊的激光頭和一個底板。您可以沿著快速校準夾具的功能設置一個單一的光學直角度。
XD Laser™激光干涉儀簡介:
XD Laser™激光干涉儀體積小,重量輕,可以直接安裝到機床導軌上,XD Laser™激光干涉儀主要由穩(wěn)頻激光器,干涉鏡和6D傳感器組成,從激光發(fā)出的激光光束經(jīng)過干涉后,被6D傳感器內(nèi)的分光鏡分成三束,一束光經(jīng)維角反射棱鏡反射后返回干涉干涉儀與參考光束相干涉產(chǎn)生干涉條紋,經(jīng)光學相位探測器識別后進行電子計數(shù),記錄準確長度位置,第二束光作直線度測量的參考光束,傳感器與參考光束之間的相對位移由裝載傳感器內(nèi)的橫向光電二極管測得,第三束光用作裝在6D傳感器內(nèi)的小型光電測角儀的參考光源,用來測量角度誤差(俯仰角和偏擺角)。
為了保證激光光束的穩(wěn)定性,測量儀在結構的設計以及激光器的選擇方面都做了仔細周密的考慮,以使測量儀的橫向和角度漂移量都降到小,從而保證測量儀的長期穩(wěn)定性,測量儀配有自動氣壓,環(huán)境溫度補償器,自動校正環(huán)境變化對激光波長及長度測量的影響。測量儀還配有站們設計的多重數(shù)字濾波器,使由空氣波動及溫度梯度引起的測量誤差降到低。
XD Laser™激光干涉儀技術參數(shù)
5D/6D標準型:
1. 線性:0.5ppm .
2. 測量范圍:40米(1D可選80米)
3. 線性分辨力:0.001um.
4. 偏擺角和俯仰角的精度:(1.0+0.1/m)角秒或1%顯示較大值
5. 大范圍:800角秒
6. 滾動角精度:1.0角秒
7. 直線度精度:(1.0+0.2/m)um或1%顯示較大值
8. 直線度大范圍:500um
9. 垂直度精度:1角秒
10. 溫度精度:0.2攝氏度
11.濕度精度:5%
12.壓力精度:1mmHg
主要特點:
1. 同時測量線性定位誤差、直線度誤差(雙軸)、偏擺角、俯仰角和滾動角
2. 設計用于安裝在機床主軸上的5D/6D傳感器
3. 可選的無線遙控傳感器長的控制距離可到25米
4. 可測量速度、加速度、振動等參數(shù),并評估機床動態(tài)特性。
5. 全套系統(tǒng)重量僅15公斤,設計緊湊、體積小,測量機床時不需三角架
6. 集成干涉鏡與激光器于一體,簡化了調整步驟,減少了調整時間