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進口激光干涉儀選擇API XD測量方法

主要特性：

¾一次安裝能測量6項精度指標包括線性定位誤差、 XX及YY兩個方向直線度、偏擺角、俯仰角、滾動角
¾ 把反射鏡換成五棱鏡既可測量兩軸間垂直度
¾ 兩點調(diào)光線. 無需三腳架. 測量調(diào)整簡單快速
¾ 傳統(tǒng)激光干涉儀測量20項精度指標(三軸)，約需3天的時間； API干涉儀只約需半天!
¾ 測量直線度/小角度/垂直度/轉(zhuǎn)臺時, 不怕斷光, 可當自準直儀用, 用于機床裝配調(diào)試
 

良好的結(jié)構(gòu)設(shè)計
API公司采用了穩(wěn)定鋼球與絕熱層的雙重定位設(shè)計（如下圖），將干涉鏡用高絕熱層與激光器主機隔開，從而避免了干涉鏡受熱變形，用穩(wěn)定鋼珠將干涉鏡前端的干涉區(qū)與下端底盤定位相連，從而使激光管及電路板發(fā)熱而引起的熱膨脹方向沿穩(wěn)定鋼珠中線向后，使得干涉鏡不受影響，保證了測量準確性。

API XD干涉儀線性定位誤差的測量方法:
¾ 一次安裝也可同時測量其它五個參數(shù);
¾ 可利用電腦中的直線度實時顯示,
數(shù)字化去除余弦差，測量準確;
¾ 兩點調(diào)光，對光迅速

直線度測量— API XD的方法

應(yīng)用良好的PSD技術(shù)：光電位置敏感檢測器。它可將光敏面上的光點位置轉(zhuǎn)化為電信號)

¾ 不怕斷光，可用于導(dǎo)軌的安裝調(diào)試(類似于自準直儀)
¾ 對直線度進行1:1的測量
¾ 可一次性安裝, 與線性誤差一起測量, 方便, 快速

垂直度測量— API XD的方法

¾ API XD激光干涉儀是通過PSD技術(shù)1:1進行直線度測量的，所以API干涉儀測兩軸垂直度時只需一個五角棱鏡既可，無需其他鏡組. 裝/調(diào)非常方便快速
¾ 在測兩軸的垂直度的同時，兩軸各自的線性定位誤差、直線度，偏擺角、俯仰角都可一次測出，大大節(jié)省了測量所占用機床的時間，也可避免人為差錯。

偏擺角/俯仰角測量 — API XD的方法

¾ 良好的PSD技術(shù)來測量小角度: 當入射光經(jīng)分光鏡射到凸透鏡上后，如果軸無角度變化，則光線經(jīng)透鏡聚在焦點上；如果軸有角度變化，則光線會在焦平面上的PSD光靶上得到兩個方向的坐標值，從而與焦距比較得出角度值。
¾ 測量角度過程中不怕斷光, 可用于導(dǎo)軌的安裝調(diào)試
¾ 不受滾動角的影響，調(diào)整光路容易、:
 

API XD 檢測導(dǎo)軌平行度(示意)：